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四甲基氢氧化铵(TMAH)
四甲基氢氧化铵 (TMAH)
CAS75-59-2         EINECS:200-882-9       NIOSH/RTECSPA0875000
UN号:1835          危险品等级:8
分子式:(CH3)4NOH     分子量:91.15
含量:电子级2.38%, 20%, 25%;工业级25%等
包装:ISOtank/1000L/200L清洁桶或依客户要求
用途: 用于电子行业中硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等

检测项目
标准
含量(%)
25.0±0.1%
CO32-(Carbonate)
≤100ppm
Cl- (Chloride)
≤100ppb
甲醇残留
≤40ppm
锂Li
< 5 ppb
钠Na
< 10 ppb
镁Mg
< 5 ppb
铝Al
< 10 ppb
钾K
< 10 ppb
钙Ca
< 10 ppb
铬Cr
< 5 ppb
锰Mn
< 5 ppb
铁Fe
< 5 ppb
镍Ni
< 5 ppb
钴Co
< 5 ppb
铜Cu
< 5 ppb
锌Zn
< 5 ppb
钼Mo
< 5 ppb
镉Cd
< 5 ppb
铅Pb
< 5 ppb
银Ag
< 5 ppb
粒子Particles (≧ 0.5 um)
<100 pieces/ml
形态
液体
沸点(oC)
100.0
凝固点(oC)
<-25.0
粘性25oC,cst
2.8
比重@ 60oF
1.022
闪点(oF)
>200
pH
>13

 
备注:上表是25%TMAH产品规格单格单, 可根据客户需求定制特殊规格产品。
 

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