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氢氟酸(HF)
电子级氢氟酸(HF)
 CAS7664-39-3        EINECS231-634-8      NIOSH/RTECSMW7875000
 UN1790             危险品等级: 8
 分子式:HF               分子量:20.01
 含量:49±0.2%           包装:200L清洁桶或依客户要求
用途:在电子工业中用作强酸性腐蚀剂,主要用于集成电路制造工艺中硅片清洗、
     腐蚀工序,可与硝酸、乙酸、氨水和双氧水配合使用

检测项目
标准
总酸度(以HF计)
49±0.2%
色度 (Hazen)
≤10
氟硅酸(H2SiF6)
≤10 ppm
氯化物(Cl-)
≤200 ppb
硝酸盐(NO3-)
≤100 ppb
磷酸盐(PO43-)
≤100 ppb
硫酸盐(SO42-)
≤200 ppb
钠(Na)
≤1 ppb
镁(Mg)
≤1 ppb
铝(Al)
≤1 ppb
钾(K)
≤1 ppb
钙(Ca)
≤1 ppb
铬(Cr)
≤1 ppb
锰(Mn)
≤1 ppb
铁(Fe)
≤1 ppb
钴(Co)
≤1 ppb
镍(Ni)
≤1 ppb
铜(Cu)
≤1 ppb
锌(Zn)
≤1 ppb
钼(Mo)
≤1 ppb
银(Ag)
≤1 ppb
镉(Cd)
≤1 ppb
铅(Pb)
≤1 ppb
颗粒
≥0.5μm,≤5个/ml

 备注:上表是49%电子级氢氟酸产品规格单, 可根据客户需求定制特殊规格产品。

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